[实用新型]制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备有效
| 申请号： | 201922024613.X | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN211999903U | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 卢贤政;陈麒麟;李时俊;张勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 林伟敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了制作双面透明导电氧化物薄膜的镀膜设备，其至少包括第一镀膜腔（1）和第二镀膜腔（2）、横穿第一和第二镀膜腔的用于传输镀膜载板的传输带（3），第一和第二镀膜腔内分别设有镀膜源，当待镀膜载板依次穿过第一和第二镀膜腔时，所述镀膜源对待镀膜载板双面镀制透明导电氧化物薄膜；本实用新型解决了离子镀膜和溅射镀膜的缺点，有效解决镀膜粉尘对于TCO薄膜质量及产品效率的影响，尤其适合高效率薄膜硅/晶体硅异质结太阳电池的正面和背面连续生产时、方向由下往上镀膜源上方薄膜积迭所积造成的粉尘而产生缺陷，且本实用新型的设备和方法可适用于多种具有不同性能的TCO材料及不同型式的镀膜源。 | ||
| 搜索关键词： | 制作 双面 透明 导电 氧化物 薄膜 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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