[实用新型]光刻胶生产加工用冷却降温装置有效
申请号: | 201922026848.2 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN211487649U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 王鸿岩;孙浩 | 申请(专利权)人: | 辽宁靖帆新材料有限公司 |
主分类号: | B01J19/18 | 分类号: | B01J19/18;B01J19/00;B01J4/00 |
代理公司: | 沈阳鼎恒知识产权代理事务所(普通合伙) 21245 | 代理人: | 赵月娜 |
地址: | 111000 辽宁省辽阳市灯*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种光刻胶生产加工用冷却降温装置,包括设于NAS‑5反应釜外侧的冷却水套、冷却水缓存箱、循环水泵Ⅰ、回水管线,其技术要点是:还包括设于NAS‑5脱水罐的尾气收集罐中的降温盘管,循环水泵Ⅰ和冷却水套之间连接有换热器且换热器的管程入口与冷却水套的出水口连通,换热器的管程出口与循环水泵Ⅰ的进水口连通,降温盘管的进水口通过管线与换热器的壳程出口连通,降温盘管的出水口通过管线连接有循环水泵Ⅱ且循环水泵Ⅱ的出水口与换热器的壳程入口连通。其解决了现有NAS‑5反应釜冷却降温装置冷量散失大、造成冷量浪费问题,结构配置合理,使用安全可靠。 | ||
搜索关键词: | 光刻 生产 工用 冷却 降温 装置 | ||
【主权项】:
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