[实用新型]一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备有效
申请号: | 201922036727.6 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN211386001U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 高志明;宗冰;高承燕;鲍守珍;甘易武;何乃栋;郑连基 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/12;B08B3/08;B08B15/04;F26B21/00 |
代理公司: | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 陈春华 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备,涉及多晶硅生产设备技术领域,主要用于解决现有的清洗设备清洗效果差的问题。其主要结构为:包括支架平台和清洗机构,所述清洗机构包括竖直设置的内筒体和外筒体,所述内筒体与外筒体之间套设有能上下移动的筒套;所述外筒体的上端边缘设有扣置还原炉钟罩的安放座,安放座与还原炉钟罩之间、外筒体与筒套之间皆设有充气密封环;所述筒套上方设有喷头。本实用新型提供的一种多晶硅还原炉钟罩清洗设备,其能通过浸泡的方式清洁还原炉钟罩内表面,清洗效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 还原 炉钟罩 清洗 设备 | ||
【主权项】:
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