[实用新型]基于分时多光谱图像的微观3D形貌测量装置

摘要

本实用新型具体涉及一种基于分时多光谱图像的微观3D形貌测量装置，该装置包括：复色光源、纵向色散增强性光学成像模块、滤光轮、图像传感器、图像显示与分析模块，所述滤光轮安装有多片窄带滤光片，可将进入纵向色散增强型光学成像模块的复色光源进行分色，形成不同光谱波段的单色光源；所述图像传感器用于分时采集多个不同中心波长光谱波段下的样品灰度图像。该装置能实现在无机械运动情况下，快速获取样本微观3D形貌，能实现高横向分辨率、高纵向测量精度、毫米量级大纵向测量范围的微观3D形貌测量。