[实用新型]具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱

摘要

本申请公开了一种具有伸缩式滑轨的离子镀过渡舱，包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵，过渡舱位于两个相邻的密封箱体之间，过渡舱与密封箱体密封固定连接，过渡舱设置有过渡舱门、伸缩式滑轨，过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接，伸缩式滑轨位于过渡舱内，伸缩式滑轨朝两侧密封箱体做水平方向的伸缩式移动。本实用新型通过过渡舱实现在保持密封箱体之间的气氛互不影响的同时，减小了工件转移过程中的抽气量和补气量，由于只对体积较小的过渡舱进行抽真空，箱体内外气压一直保持基本平衡，所以降低了对箱体结构强度的要求。