[实用新型]内置过渡舱的离子液体电镀装置

摘要

本申请公开了一种内置过渡舱的离子液体电镀装置，包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵，过渡舱位于密封箱体内部，过渡舱与密封箱体密封连接，过渡舱设置有过渡舱门，过渡舱门包括第一舱门和第二舱门，第一舱门位于过渡舱的顶面，第二舱门位于过渡舱的侧面，过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接，过渡舱的第一舱门位于密封箱体内部，过渡舱的第二舱门位于过渡舱和密封箱体的连接处。本实用新型减小了工件转移过程中的抽气量和补气量，进而加快了生产效率、减少了废气排放、降低了补气成本；采用内置过渡舱在安装时减少了焊缝数量和长度，提高了可靠性，便于进行舱与舱之间的拆卸运输。