[实用新型]一种精密驱动与定位的直线电机

摘要

一种精密驱动与定位的直线电机，包括运动平台C，运动平台C内部安装有电磁电机次级永磁体组B，在基板D上固定有电磁电机初级绕组A，电磁电机初级绕组A与运动平台C不连接，在运动平台C下面设有轨道Q，轨道Q安装在基板D上；运动平台C能在轨道Q上运动；其特征在于，在运动平台C侧面固定安装有压电驱动摩擦片E‑2；在压电驱动摩擦片E‑2外侧设有一个压电驱动机构PA，压电驱动器PA包括压电驱动器摩擦头E‑1，切变型多层压电驱动器F1A，厚度型多层压电驱动器F2A和支架UA；本实用新型与现有技术相比，能更有效、更精密地实现宏‑微‑纳运动；多级运动模式切换和多头复合驱动器运动的协调，运动平台的实时位置闭环反馈。