[实用新型]一种基于静电吸附的托盘固定结构

摘要

本实用新型公开一种基于静电吸附的托盘固定结构，包括加热平台，还包括安装在加热平台上的静电吸附装置；所述静电吸附装置包括陶瓷托盘、用于吸附陶瓷托盘的柔性电极，所述陶瓷托盘上开有若干晶圆孔，所述柔性电极内设有能产生吸附静电的电极板，所述电极板外接电源。本实用新型采用陶瓷托盘和柔性电极配合，通过柔性电极内的电极板通电产生吸附静电，将陶瓷托盘、晶圆进行吸附，在干法蚀刻工艺中上、下盘操作时，不需要拆卸螺丝、取放陶瓷夹具，能有效提高生产效率，降低人力成本，另外，采用本实用新型的固定结构，由于不需要进行拆卸作业，能避免引入颗粒杂质造成的产品不良。