[实用新型]一种光栅周期的测量装置有效
申请号: | 201922059578.5 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN212180228U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 尹志军;张虞;吴冰;许志城 | 申请(专利权)人: | 南京南智先进光电集成技术研究院有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请提供了一种光栅周期的测量装置。该装置中,级联光栅可以安装于光源上方,安装座可以位于级联光栅中相对的两侧边上,用于安装待测光栅。如此,光源发出的光线从级联光栅的底面射入,并从级联光栅的顶面射出,再从待测光栅的底面射入,并从待测光栅的顶面射出。通过安装于待测光栅上方的观测窗口,可以观测到光线透过级联光栅和待测光栅后形成的干涉图案,并采用安装于待测光栅上方的摄像头拍摄干涉图案,以便实验人员根据拍摄到的干涉图案确定待测光栅的周期。整个装置结构简单,只需使用级联光栅即可对待测光栅的周期进行测量,大大降低了使用和日常维护的难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 光栅 周期 测量 装置 | ||
【主权项】:
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