[实用新型]加热炉体和半导体设备有效
| 申请号： | 201922064212.7 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210070582U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 郝晓明;郑建宇;赵福平;盛强 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种加热炉体和半导体设备，该加热炉体包括：环形保温体；环绕设置在所述环形保温体周围的炉壳；设置在所述环形保温体和所述炉壳之间的缓冲层；以及相互独立的多个加热结构，沿环形保温体的轴向依次设置在环形保温体的内侧；并且，有至少一个加热结构包括多个加热分部，且与环形保温体的周向上划分的多个分区一一对应，其中至少两个加热分部在同一时间辐射出的热量不同。本实用新型提供的加热炉体，其能够在同等或较少的加热功率条件下，提高加热效率，缩短加热时间，同时又能够提高工艺均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 环形保温体 加热炉体 加热 本实用新型 加热结构 炉壳 分部 半导体设备 工艺均匀性 环绕设置 加热功率 加热效率 时间辐射 依次设置 缓冲层 轴向 分区 | ||
【主权项】：
1.一种加热炉体，其特征在于，包括：/n环形保温体；/n环绕设置在所述环形保温体周围的炉壳；/n设置在所述环形保温体和所述炉壳之间的缓冲层；以及/n相互独立的多个加热结构，沿所述环形保温体的轴向依次设置在所述环形保温体的内侧；并且，有至少一个所述加热结构包括多个加热分部，且与所述环形保温体的周向上划分的多个分区一一对应，其中至少两个所述加热分部在同一时间辐射出的热量不同。/n
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