[实用新型]排气结构和单晶炉有效
| 申请号： | 201922064479.6 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210886317U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘学金;王宿;段永兵;王军;李佳诚 | 申请（专利权）人： | 新疆晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 孟阿妮;张小勇 |
| 地址： | 835800 新疆维吾尔自*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种排气结构和单晶炉，涉及单晶硅生产设备技术领域，主要目的是提供一种能够减少挥发物堆积的排气结构。本实用新型的主要技术方案为：一种排气结构，包括：排气管道，排气管道包括波纹管、沉降管和延伸管，沉降管的一端连接于波纹管，另一端连接于延伸管，波纹管连接于炉体；振动部，振动部包括振动电机，振动电机贴附于沉降管的表面，用于使沉降管振动。本实用新型主要用于生产单晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 结构 单晶炉 | ||
【主权项】：
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