[实用新型]一种载物台及探针台有效
| 申请号： | 201922064690.8 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN211374831U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 杨应俊;沈杰 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种载物台及探针台。所述载物台包括，竖直运动连接于第一连接部的放片部；第一连接部旋转连接于第二连接部；所述第一连接部相对于第二连接部旋转的旋转轴沿竖直方向；所述探针台包括所述载物台。使用所述载物台能够减小对放片部沿竖直方向运动控制的重量，提升对放片部沿竖直方向运动控制的精度，提升晶圆沿竖直方向运动的位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 载物台 探针 | ||
【主权项】：
暂无信息
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