[实用新型]一种基板搬送机器人抓具以及基板搬送机器人

摘要

本实用新型公开了一种基板搬送机器人抓具以及基板搬送机器人，包括底座，所述底座内部开设有放置腔，所述放置腔内部通过安装座安装有马达，所述底座顶部通过转轴活动设置有机体，所述马达的输出轴端通过联轴器与机体所在的转轴传动连接，所述机体外部一侧设置有安装块。本实用新型在支撑块的凹槽内部设置有电动推杆，还在电动推杆的一端设置有压板，再设置有触发机构来控制电动推杆的工作能够完成对位于手爪上的基板的固定工作，固定方式自动化，不需要使用专用的控制机构来完成对基板的固定，避免了基板在搬送的过程中掉落出手爪而损坏的情况发生，保证了搬送工作的正常进行，提高了本机器人的使用效果。