[实用新型]单晶炉用进料阀门控制装置及系统有效
| 申请号： | 201922065995.0 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210895104U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 黄鸣 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王宇杨 |
| 地址： | 100015 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种单晶炉用进料阀门控制装置及系统，该装置包括第一控制单元、第二控制单元和进料阀门回路，其中：第一控制单元，用于接收外部控制设备的控制信号，根据控制信号使第二控制单元执行触发动作；第二控制单元，用于在执行触发动作后进入工作状态，使进料阀门回路中的阀门开启或关闭；工作状态包括使阀门开启或使阀门关闭；在外部控制设备停止向第一控制单元输出控制信号时，第二控制单元保持当前的工作状态。通过采用第一控制单元和第二控制单元对进料阀门回路的联合控制，使在外部控制设备停止向第一控制单元输出控制信号时，第二控制单元保持当前对阀门的工作状态，保持设备运行状态。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉用 进料 阀门 控制 装置 系统 | ||
【主权项】：
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