[实用新型]用于大气机械手的机械手指有效
| 申请号： | 201922066639.0 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN211662068U | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张伟涛;范泽斌 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/06;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种用于大气机械手的机械手指，包括：至少一个指叉，指叉的末端设有凸台，凸台上设有负压气孔和围绕负压气孔的吸盘。通过在指叉末端的凸台上设置吸盘，在取放晶圆的过程中，吸盘能够提高凸台与晶圆曲面贴合度，从而防止晶圆滑落，提高机械手的自适应性，解决了原有机械手指无法吸附翘曲大、厚度薄地晶圆的技术问题，增加机械手取放晶圆的效率和成功率，对于特殊工艺需求的薄片晶圆，吸盘可以减轻晶圆与指叉接触时的冲击，起到了缓冲的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 大气 机械手 机械 手指 | ||
【主权项】：
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