[实用新型]一种晶圆UV擦除系统有效
| 申请号： | 201922077337.3 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN210489251U | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 潘若愚 | 申请（专利权）人： | 京隆科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G11C29/00 | 分类号： | G11C29/00;G11C29/56 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆UV擦除系统，包括：UV机、控制单元、警报单元和主机；所述UV机包括测量单元、UV灯组和用于承载晶圆的托盘，测量单元用于检测UV灯组的UV强度值；控制单元连接于UV机，并用于控制UV灯组的启动和关闭；主机连接于控制单元、警报单元和UV机，并用于在测量单元检测到的UV强度值低于预设值时，形成控制指令传输至警报单元和控制单元。本实用新型能对UV灯的UV强度进行实时监控，在UV强度出现异常时自动停止UV擦除作业，并形成警示信号，提醒工作人员处理异常情况；同时将检测到的UV强度值存储于数据存储单元中，使工作人员可以根据存储于数据存储单元中的UV强度值，追踪晶圆擦除异常是否和UV灯的UV强度异常有关。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 uv 擦除 系统 | ||
【主权项】：
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