[实用新型]一种掩膜板清洗液回收装置

摘要

本实用新型涉及一种掩膜板清洗液回收装置，包括清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块，所述清洗槽、水汽分离模块以及冷凝回收模块依次连接于管道上，并且管道构成循环回路，所述水汽分离模块包括液化单元以及水汽分离单元，所述冷凝回收模块包括第二出汽端，所述第二出汽端设置在冷凝回收模块的上端，所述冷凝回收模块对所述水汽分离模块传输过来的清洗液蒸汽冷凝液化。清洗槽中的清洗液气体和空气的混合气体进入水汽分离模块，水汽分离模块将很合气体汇总的水分去除，干燥后的气体进入冷凝回收模块，冷凝回收模块将清洗液蒸汽液化收集，并经管道回到清洗槽实现清洗液的回收与利用的目的。