[实用新型]一种离子注入设备有效
| 申请号： | 201922093347.6 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN210429730U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 周波;林锦辉;陈飞;郑志雄;吴虎 | 申请（专利权）人： | 信利（仁寿）高端显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/266;H01L21/677;H01L21/68 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 李健威 |
| 地址： | 620500 四川省眉山*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入设备，包括制程腔室和离子注入装置，所述离子注入装置与所述制程腔室的离子注入口相连通以向所述制程腔室内发射离子束，以及用于将掩膜板传送至所述制程腔室内的第一传送装置；还包括用于将至少两基板传送至所述制程腔室内的至少两第二传送装置，一第二传送装置对应传送一基板，所述至少两基板在所述制程腔室内于所述掩膜板背向所述离子注入口的一侧相间隔层叠。该离子注入设备可提高离子注入的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 设备 | ||
【主权项】：
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