[实用新型]一种带防腐蚀石英管的扩散设备有效
申请号: | 201922096303.9 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN211079410U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 叶石标;颜大安 | 申请(专利权)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人: | 俞培锋 |
地址: | 314300 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种带防腐蚀石英管的扩散设备,包括机座,机座上固定有箱体,箱体内设置有扩散炉体,扩散炉体端部通过焊接的方式倾斜连接有尾气废管,且尾气废管的轴线与水平面呈负2‑6度夹角,尾气废管为乳白石英管,尾气废管内还套设有防护管,且防护管的长度与尾气废管的长度之比为4:5,防护管为普通石英管。本实用新型具有使用寿命长的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 腐蚀 石英管 扩散 设备 | ||
【主权项】:
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