[实用新型]量测组件有效
| 申请号： | 201922096623.4 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN212207471U | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 钟瑞伦;吴俊鹏 | 申请（专利权）人： | 吴俊鹏;陈纪宇 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 中国台湾新竹市北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种量测组件可用于量测高电子迁移率晶体管的特性，包括探针及探棒，探针具有探针本体及设置在探针本体一端的尖端，探针本体具有第一导电金属及披覆于第一导电金属的绝缘层，尖端为接触金属。探棒具有第二导电金属及披覆于第二导电金属的第三金属层；探针的尖端设置于高电子迁移率晶体管的氮化镓层，而探棒与高电子迁移率晶体管的P型氮化镓接触。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 | ||
【主权项】：
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