[实用新型]一种半导体芯片电特性检测装置有效
申请号: | 201922106285.8 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN211206699U | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 金明星 | 申请(专利权)人: | 穆棱市北一半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 郑丰平 |
地址: | 157516 黑龙江省牡丹江*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种半导体芯片电特性检测装置,包括固定座、支架、滑道、电机固定座、滑动电机、滑杆、滑台、芯片放置槽、检测机构和控制器,所述支架设于固定座上,所述滑道设于支架上,所述电机固定座设于支架侧壁上,所述滑动电机设于电机固定座上,所述滑杆可滑动设于电机固定座上,所述滑杆设于滑动电机输出端上,所述滑台一端设于滑杆顶部,所述滑台另一端可滑动设于滑道内,所述芯片放置槽设于滑台顶部,所述检测机构设于支架顶部且设于芯片放置槽上方,所述控制器设于检测机构上。本实用新型属于电子芯片生产装置技术领域,具体是指一种检测效率高、实时切换检测点、多方位检测的半导体芯片电特性检测装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 特性 检测 装置 | ||
【主权项】:
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