[实用新型]一种掩膜版用的干燥装置有效
| 申请号： | 201922122095.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211012194U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 侯广杰;叶小龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市龙图光电有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;F26B25/18;F26B21/00 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 彭家恩;郭燕 |
| 地址： | 518104 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜版用的干燥装置，包括晾板架，晾板架包括架体和晾板部，架体用于支撑晾板部，晾板部呈台阶状，晾板部包括间隔设置的若干晾板侧壁和晾板底壁，晾板侧壁和晾板底壁依次连接，晾板侧壁用于与掩膜版的上侧接触，晾板底壁用于承载掩膜版的下侧。当需要晾干掩膜版时，将掩膜版的下侧放置在晾板底壁上，将掩膜版的上侧靠在晾板侧壁上，使得掩膜版倾斜放置在晾板部上。通过台阶状结构的晾板部，有效利用了立体空间，增大了晾板架能够放置掩膜版的数量，有利于批量晾干掩膜版。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版用 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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