[实用新型]线圈水平位置可动态调整的蚀刻机结构有效
| 申请号： | 201922123832.3 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211016998U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 林志隆;蔡兆哲;陈俊龙 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种线圈水平位置可动态调整的蚀刻机结构，其包括：第一电浆反应腔体；水平滑动模块，其具有：至少一个第一高度支撑件；第一水平支撑件；第一滑动件；及第二滑动件；线圈支架；以及线圈模块；其中第一滑动件及第二滑动件，使线圈模块在第一电浆反应腔体上方，进行X轴向或Y轴向的移动。借由本实用新型的实施，可以动态的完成反应腔室壁体上，各不同部位沉积物的清理。 | ||
| 搜索关键词： | 线圈 水平 位置 动态 调整 蚀刻 结构 | ||
【主权项】：
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