[实用新型]一种晶圆测试夹具有效
| 申请号： | 201922125417.1 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211478547U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 吴志明 | 申请（专利权）人： | 亚芯电子（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆测试夹具，包括芯片测试座，其特征在于：所述芯片测试座的顶端固定安装有定位气缸，所述定位气缸共实质上有四个，四个所述定位气缸呈矩形阵列状分布于芯片测试座的顶端，所述定位气缸的内侧滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的末端固定连接有导向杆安装板，所述导向杆安装板的一侧固定连接有测试头导向滑杆，所述芯片测试座的顶端放置有芯片吸嘴版，所述芯片吸嘴版的四周设置有与测试头导向滑杆相对应的定位凹槽，本实用新型使解决了使用晶圆测试夹具时，晶圆测试夹具难以稳定的夹取晶圆，直接夹取晶圆易损坏晶圆的完整性，影响了晶圆测试夹具的使用效果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 夹具 | ||
【主权项】：
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