[实用新型]一种8英寸晶圆金凸块封装工装有效
申请号: | 201922125701.9 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN211350585U | 公开(公告)日: | 2020-08-25 |
发明(设计)人: | 张子运;端雪峰;陈业 | 申请(专利权)人: | 江苏纳沛斯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 223002 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及晶圆凸块封装设备技术领域,且公开了一种8英寸晶圆金凸块封装工装,包括底座,所述底座的顶部固定连接有下封装台,所述底座顶部的左右两侧均固定连接有调节台,两个所述调节台的顶部均固定连接有导向板,两个所述调节台的内侧均螺纹连接有螺纹丝杠,两个所述螺纹丝杠相背的一端均固定连接有转柄,两个所述螺纹丝杠的相对侧之间均固定连接有限位块,所述下封装台顶部的左右两侧均活动连接有导向块,两个所述导向块的内侧均开设有限位槽。该8英寸晶圆金凸块封装工装,便于定位封装等优点,从而有效的解决了晶圆金凸块封装工装定位不准确会使晶圆金凸块封装精确性较差的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 英寸 晶圆金凸块 封装 工装 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造