[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922128353.0 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211184238U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风。包括：在衬底上依次形成的第一隔离层、膜片和第二隔离层；在第二隔离层上依次形成的第一保护层、第二保护层、背极板电极、第三保护层和第四保护层；贯穿衬底和第一隔离层的声腔，背极板电极形成在膜片的可动区域上方，并且背极板电极的面积小于等于膜片的可动区域的面积。本实用新型采用第一保护层至第四保护层保护背极板电极，使得背极板电极不被腐蚀。并且背极板电极位于膜片的可动区域上方且背极板电极的面积小于等于膜片的可动区域的面积。从而可以减小对MEMS麦克风的灵敏度无任何贡献的寄生电容的影响。即使存在着工艺波动，由于背极板电极仅需要对准膜片的可动区域，也可以容易地将二者对准。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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