[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922131501.4 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211184240U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 闻永祥;孙福河;刘琛;周燕春 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风。所述方法包括：在衬底上依次形成第一隔离层、膜片和第二隔离层；在所述第二隔离层上依次形成第一保护层、第二保护层、背极板、第三保护层和第四保护层；形成贯穿所述衬底的声腔；形成贯穿所述第一保护层、所述第二保护层、所述背极板、所述第三保护层和所述第四保护层的释放孔；经由所述声腔和所述释放孔释放所述膜片。本实用新型在释放膜片的蚀刻步骤中采用第一保护层至第四保护层保护背极板，在释放结构中的膜片时背极板不被腐蚀。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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