[实用新型]一种芯粒测试装置有效
| 申请号： | 201922132154.7 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211478536U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡家豪;滕兰;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01J1/42;G01J1/04;G01N17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体测试领域，尤其涉及一种芯粒测试装置，包括载盘、真空机构、积分球、寻边器、点测针、遮蔽机构、加热机构、加湿机构、感测机构和控制器，所述载盘设置有真空吸孔，加热机构设置于真空吸孔中，真空机构对真空吸孔抽真空；积分球、寻边器和加湿机构均设置于载盘的上方；点测针与寻边器连接；遮蔽机构设置于积分球的下端；感测机构设置于遮蔽机构的外侧；控制器控制整个测试装置的运行。本实用新型能提供可控的温湿度环境，对芯粒进行的光电参数检验及其快速老化检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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