[实用新型]用于掩膜版制作的气体供给装置有效
申请号: | 201922133039.1 | 申请日: | 2019-11-29 |
公开(公告)号: | CN211009034U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 叶小龙;王栋 | 申请(专利权)人: | 深圳市龙图光电有限公司 |
主分类号: | F04B41/06 | 分类号: | F04B41/06;F04B41/02;F04B39/16;F04B39/00;F04B49/10 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 郭燕;彭家恩 |
地址: | 518104 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种用于掩膜版制作的气体供给装置,包括控制设备、主供气设备、辅助供气设备以及缓压储气罐;所述主供气设备和辅助供气设备中,一个采用螺杆式空气压缩机,另一个采用活塞式空气压缩机;所述控制设备分别与螺杆式空气压缩机和活塞式空气压缩机连接,用以控制螺杆式空气压缩机和活塞式空气压缩机的打开和关闭,所述螺杆式空气压缩机通过第一管道与所述缓压储气罐进行连通,所述活塞式空气压缩机通过第二管道与所述缓压储气罐进行连通,所述缓压储气罐具有用于与用气设备连通的出气通道,提供更多的供气方式供选择,保障供气稳定,使得掩膜版制作效率提高。 | ||
搜索关键词: | 用于 掩膜版 制作 气体 供给 装置 | ||
【主权项】:
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