[实用新型]掩模板有效

专利信息
申请号: 201922150725.X 申请日: 2019-12-04
公开(公告)号: CN210573180U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 郑启涛;许邹明;张雷;田健;张贵玉;刘纯建;吴信涛;陈彤 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
主分类号: G03F1/00 分类号: G03F1/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张成新
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开的实施例公开了一种掩模板。掩模板包括多个遮光条,多个遮光条布置成网格状。掩模板包括掩模板正常曝光区域;以及由掩模板的侧边缘构成的并且与掩模板正常曝光区域邻接的掩模板拼接曝光区域。在掩模板拼接曝光区域与掩模板正常曝光区域之间具有分界线,多个遮光条包括位于掩模板拼接曝光区域并且交叉设置成网格状的多个第一遮光条和位于掩模板正常曝光区域并且交叉设置成网格状的多个第二遮光条,并且第一遮光条的宽度大于第二遮光条的宽度。采用根据本公开的实施例的掩模板,可以使基板拼接曝光区域的金属线的线宽与基板正常曝光区域的金属线的线宽更加一致。
搜索关键词: 模板
【主权项】:
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