[实用新型]半导体结构有效
申请号: | 201922152641.X | 申请日: | 2019-12-03 |
公开(公告)号: | CN211088261U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 于新新 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L27/108;H01L21/768;H01L21/8242 |
代理公司: | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人: | 孙佳胤;董琳 |
地址: | 230001 安徽省合肥市蜀山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种半导体结构,所述半导体结构包括:基底,所述基底包括第一区域和第二区域,所述第一区域上形成有第一器件结构,所述第二区域上形成有第二器件结构,所述第一器件结构高度大于所述第二器件结构的高度,所述第一器件结构具有至少部分凹陷的侧壁,所述凹陷位于所述第一区域和第二区域的交界处;第一介质层,位于第二区域上,所述第一介质层填充满所述凹陷,所述第一介质层具有流动性。上述半导体结构的性能得到提高。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 | ||
【主权项】:
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