[实用新型]一种用于基板生产的真空镀膜装置

摘要

本实用新型属于基板生产技术领域，涉及一种用于基板生产的真空镀膜装置，其包括输送机构和夹持件，所述夹持件卡合连接在所述输送机构上，所述输送机构包括主动轮、从动轮和传送带，所述主动轮与所述从动轮通过所述传送带传动连接；通过在传送带上卡合连接有夹持件，可将待加工的基板夹持固定在传送带上，然后通过传送带两侧的加热器对基板的两面进行预处理，接着通过靶材对基板的两面进行镀膜作业，使得基板在传送带上进行输送的过程中，可同时对基板的两面进行镀膜作业，以及通过将基板卡合固定在夹持件上，通过夹持件上的夹持板与夹持侧件的相互配合下，使得基板可稳定的放置在传送带上，有效防止基板发生晃动，影响基板的镀膜效果。