[实用新型]一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置有效
申请号: | 201922161531.X | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN211595779U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 马毅;谢续友;黄先伟;俞越翎;张泰华 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/18 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 周红芳 |
地址: | 310014 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种卷绕式纤维镀膜磁控溅射装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置设有卷绕式纤维镀膜装置,所述卷绕式纤维镀膜装置包括卷绕装置及丝架装置,所述卷绕装置对纤维丝线进行放卷,并通过丝架装置进行张开后再通过卷绕装置对纤维丝线进行收卷。本实用新型的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,使纤维丝线上圆柱表面与下圆柱表面都能镀到膜,保证了纤维镀膜的全面性与均匀性,对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。 | ||
搜索关键词: | 一种 卷绕 纤维 镀膜 磁控溅射 装置 | ||
【主权项】:
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