[实用新型]一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置有效

专利信息
申请号: 201922161541.3 申请日: 2019-12-05
公开(公告)号: CN211772356U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 马毅;谢续友;黄先伟;俞越翎;张泰华 申请(专利权)人: 浙江工业大学
主分类号: D06M11/83 分类号: D06M11/83;C23C14/56;C23C14/35
代理公司: 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 代理人: 周红芳
地址: 310014 *** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置处设有放卷装置,另一侧的位置处设有收卷装置,所述真空腔体内部在靠近放卷装置位置设有左丝架,真空腔体内部在靠近收卷装置位置设有右丝架,所述纤维丝线从放卷装置放出后在左丝架及右丝架之间进行展开后由收卷装置进行收卷。本实用新型的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维线进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,纤维丝线有效镀膜的行程增加,使得纤维丝线的表面得到充分镀膜,保证了纤维镀膜的全面性与均匀性,也保证了镀膜的效率。
搜索关键词: 一种 磁控溅射 卷绕 纤维 镀膜 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江工业大学,未经浙江工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201922161541.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top