[实用新型]一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置有效
申请号: | 201922161541.3 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN211772356U | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 马毅;谢续友;黄先伟;俞越翎;张泰华 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | D06M11/83 | 分类号: | D06M11/83;C23C14/56;C23C14/35 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 周红芳 |
地址: | 310014 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种磁控溅射中卷绕式纤维镀膜装置,包括纤维丝线、真空腔体、升降台及靶材支座,所述真空腔体内部在位于靶材支座一侧的位置处设有放卷装置,另一侧的位置处设有收卷装置,所述真空腔体内部在靠近放卷装置位置设有左丝架,真空腔体内部在靠近收卷装置位置设有右丝架,所述纤维丝线从放卷装置放出后在左丝架及右丝架之间进行展开后由收卷装置进行收卷。本实用新型的有益效果是:该装置设计结构简单合理,使用方便,应用本装置为纤维线进行磁控溅射镀膜,纤维丝线在滑轮之间绕动,纤维丝线有效镀膜的行程增加,使得纤维丝线的表面得到充分镀膜,保证了纤维镀膜的全面性与均匀性,也保证了镀膜的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 磁控溅射 卷绕 纤维 镀膜 装置 | ||
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D06 织物等的处理;洗涤;其他类不包括的柔性材料
D06M 对纤维、纱、线、织物、羽毛或由这些材料制成的纤维制品进行D06类内其他类目所不包括的处理
D06M11-00 用无机物或其配合物处理纤维、纱、线、织物或这些材料制成的纤维制品;和机械处理相结合的处理,如丝光
D06M11-01 .用氢、水或重水;用金属氢化物或其配合物;用硼烷、二硼烷、硅烷、二硅烷、膦、二膦、、二、胂、二胂或它们的配合物
D06M11-07 .用卤素;用氢卤酸或其盐,用氧化物或卤素的含氧酸或其盐
D06M11-32 .用氧、臭氧、臭氧化物、氧化物、氢氧化物或过化合物;从具有两性元素—氧键的阴离子衍生的盐
D06M11-51 .用硫、硒、碲、钋或其化合物
D06M11-58 .用氮或其化合物;如硝酸盐
D06M 对纤维、纱、线、织物、羽毛或由这些材料制成的纤维制品进行D06类内其他类目所不包括的处理
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