[实用新型]一种二氯硅烷的充装装置有效
| 申请号： | 201922180710.8 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN211289562U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王占峰;杨利;于青玉 | 申请（专利权）人： | 浙江西亚特电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/06 | 分类号： | F17C5/06;F17C13/02;F17C13/04;F17C13/00 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 刘奇 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型的技术方案是这样实现的：一种二氯硅烷的充装装置，其特征在于：包括储存罐、压缩机、若干个充装组件、输气管、充装组件和抽气组件；所述输气管的两端分别与压缩机和储存罐连接，该输气管的两端均设置有阀门，所述压缩机与储存罐相连通；所述充装组件包括充装管和固定在充装管一端的充装头，所述充装管的与输气管相连通，所述充装管上设置有电动阀门，该充装管上安装有流量计；所述抽气组件位于所述压缩机和充装组件之间，该抽气组件包括抽气管和真空泵，所述抽气管的两端分别与和真空泵和输气管连通，所述抽气管上设置有阀门；本实用新型的有益效果是：充装精准，自动化程度高，充装稳定，减少充装时二氯硅烷的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 装置 | ||
【主权项】：
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