[实用新型]一种带烘干功能的清洗机有效
申请号: | 201922187815.6 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN211488784U | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 胡建军 | 申请(专利权)人: | 苏州英尔捷半导体有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B21/00;F26B11/18 |
代理公司: | 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 | 代理人: | 徐永雷 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带烘干功能的清洗机,包括主体、横板和固定套,所述主体的底端外侧设置有滚轮,且主体的底端内侧设置有脚柱,所述脚柱的外侧设置有固定环,所述主体的上端一侧设置有清洗仓,且清洗仓的外部一侧固定有铰链,且铰链的另一端固定有清洗仓门体,所述清洗仓门体的上端设置有玻璃,且清洗仓门体的外侧固定有把手,所述清洗仓的内部两侧设置有滑轨,且滑轨的外侧固定有滑块。该带烘干功能的清洗机设置有烘干盘,烘干盘与烘干仓呈水平状分布,呈水平状分布的烘干盘和烘干仓可以保证放置在烘干盘上端的晶圆在烘干过程中的稳定性,同时配合设置有的第二电动机达到旋转烘干盘提升烘干的效果,提升该清洗机的工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 烘干 功能 清洗 | ||
【主权项】:
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