[实用新型]应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构有效

专利信息
申请号: 201922201013.6 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN210925959U 公开(公告)日: 2020-07-03
发明(设计)人: 张俞峰 申请(专利权)人: 昆山沃得福自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 赵红霞
地址: 215300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型揭示了应用于IC芯片烧制设备的位置度检测机构,设置在IC芯片烧制设备的基台上,包括装载基板和位于装载基板底部的摄像机构,装载基板上设有透明区域,摄像机构的摄像端垂直向朝向透明区域,基台上设有镂空通道,摄像机构设置于镂空通道内,装载基板固定设置在镂空通道的顶部敞口端。本实用新型采用下沉式的位置度检测机构,其顶面与基台面相平齐,不会干涉到拾取吸盘机构的位移,降低了对拾取吸盘机构的升降行程需求,同时节省了空间要求。具备透明区域,满足拍摄透光需求,易于表面除尘作业。还具备阻尘隔水等功能,防止外部水汽粉尘侵入,延长了摄像机构的使用寿命。
搜索关键词: 应用于 ic 芯片 烧制 设备 位置 检测 机构
【主权项】:
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