[实用新型]应用于IC芯片烧制设备的运行装置

摘要

本实用新型揭示了应用于IC芯片烧制设备的运行装置，包括承载基架，承载基架上设有Y向设置的双排的Y向轨道，任意Y向轨道上设有Y向滑座，Y向滑座之间桥接有X向滑轨，X向滑轨上设有X向滑座、及用于驱动X向滑座线性位移的X向驱动源，承载基架上设有Y向转轴及用于驱动Y向转轴旋转的旋转驱动源，任意Y向轨道设置有Y向传动带机构，Y向转轴的两个自由端分别与Y向传送带机构一一对应传动连接，Y向传送带机构的传送带与对应Y向轨道上的Y向滑座相传动连接。本实用新型满足对IC芯片烧制设备中拾取机构的位移行程驱动，具备较高地位移精度，运行可靠稳定，易于控制。整体设计简洁巧妙，布局合理，有效降低制造成本，提高空间利用率。