[实用新型]一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置有效
申请号: | 201922216340.9 | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN211464127U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 史宇鹏;王朋;林海峰 | 申请(专利权)人: | 东方日升(洛阳)新能源有限公司 |
主分类号: | B08B3/14 | 分类号: | B08B3/14;B08B13/00 |
代理公司: | 洛阳高智达知识产权代理事务所(普通合伙) 41169 | 代理人: | 李世平 |
地址: | 471000*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种第三次硅片清洗水的再次循环利用装置,包括圆形箱体,所述圆形箱体内设有过滤结构;所述过滤结构包括:锥形筛网壳、圆形筛网壳体以及伺服电机;所述圆形箱体内侧壁面安置有第一环形框架,所述第一环形框架上开设有位置相对应的条形豁槽,每个所述条形豁槽内均安置有支柱,每个所述支柱上均套装有线圈,一对所述线圈上共同安置有第二环形框架,本实用新型涉及硅片清洗水的再次循环利技术领域。有效的解决了背景技术中所提及的硅片清洗工序中问题,通过本装置的过滤结构,便于将第三次清洗的水进行过滤,便于再次使用,便于水循环使用,节约水资源。 | ||
搜索关键词: | 一种 第三次 硅片 清洗 再次 循环 利用 装置 | ||
【主权项】:
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