[实用新型]一种带导向机构的磁性流体密封装置

摘要

本实用新型公开了一种带导向机构的磁性流体密封装置，其包括：波纹管结构，用于形成真空区域的部件；磁性流体密封装置，用于实现从大气侧向真空侧传输单向或双向旋转运动的密封装置；所述的磁性流体密封装置集成式设置有基座轴；直线导向机构，所述的直线导向机构集成在磁性流体密封装置的基座轴上进行轴向直线运动；所述的磁性流体密封装置和直线导向机构均设置在波纹管结构内部的真空区域内。该密封装置，高度集成的整体结构，真空性能好，结构紧凑，外径尺寸更小，安装空间小，装置在高速旋转的中有更高的精度、刚性和更小跳动。直线导向机构的行程大，能适用于更多的大行程真空设备。