[实用新型]MEMS设备有效
| 申请号： | 201922231187.7 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN211770290U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | R·卡尔米纳蒂;S·克斯坦蒂尼;R·吉亚诺拉;L·蒙塔格纳;F·M·C·卡尔皮格纳诺 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吕世磊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 根据本公开的实施例涉及一种MEMS设备，包括：固定结构；悬置结构，由固定结构承载；支撑结构，将悬置结构耦合到固定结构，并且被配置为允许悬置结构相对于固定结构具有至少一个自由度；致动线圈，在悬置结构上延伸，致动线圈包括第一端匝、第二端匝、以及中间匝，中间匝被布置在第一端匝和第二端匝之间；以及虚设偏置结构，包括虚设偏置区域，虚设偏置区域与第一端匝相邻并且被电耦合到中间匝。 | ||
| 搜索关键词： | mems 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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