[实用新型]一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置有效
| 申请号： | 201922236117.0 | 申请日： | 2019-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN210575823U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 张凯;胡千一 | 申请（专利权）人： | 江苏蓝安信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J41/12 | 分类号： | H01J41/12 |
| 代理公司： | 南通毅帆知识产权代理事务所(普通合伙) 32386 | 代理人： | 韩冬 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，包括下固定板和上固定板，所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体，所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构，所述上固定板上端中部固定安装有进气口，且进气口下端与离子泵泵体内部相通，所述进气口上端固定连接有真空法兰，所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。本实用新型所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，通过设置温度保护机构，当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时，控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断，保护离子泵泵体，通过设置循环降温装置，在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 加速器 溅射 离子 温度 保护装置 | ||
【主权项】：
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