[实用新型]一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置有效
| 申请号： | 201922252234.6 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211696425U | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;王旭虎 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11681 | 代理人： | 刘莹莹 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，由键合基板，驱动组合梳齿，Y轴质量块，X轴质量块；Z轴检测质量块，第一驱动连接组合梁，第二驱动连接组合梁，第三驱动连接组合梁，Z轴检测组合梁组件，支撑锚点组件、检测磁阻组件、检测电极组件组成。本实用新型的有益效果在于，采用隧道磁阻检测方式，解决了现有微机械陀螺检测方向单一，微弱柯氏力难以检测的问题，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理，使用方便，检测精度高,可实现X、Y、Z三轴角速度的检测。当隧道磁阻元件敏感到的磁场发生变化,在微弱的磁场变化下隧道磁阻元件的阻值会发生剧烈变化，该变化可将所微陀螺的检测精度提高一至两个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 隧道 磁阻 检测 三轴微 陀螺 装置 | ||
【主权项】：
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