[实用新型]一种新型灭弧罩保护装置有效
| 申请号： | 201922254087.6 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211112193U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;冯刚;邓永琪;汪毅;梁海洋;邓永宏 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决在PVD真空镀膜的过程中靶材在灭弧罩上积累从而影响灭弧罩的使用性能的问题，本实用新型提出一种新型灭弧罩保护装置，其包括：灭弧罩主体1，灭弧罩主体1为圆环形结构，圆环形结构的包括内部侧面、外部侧面、上表面和下表面，其特征在于：所述的新型灭弧罩保护装置还包括衬套2，衬套2包括遮挡面21和侧面22，侧面22与遮挡面21垂直连接，遮挡面21上设有第一螺丝锁紧孔211和第二螺丝锁紧孔212，灭弧罩主体1的下表面上设有第三螺丝锁紧孔和第四螺丝锁紧孔，在第一螺丝锁紧孔211和第三螺丝锁紧孔中打入第一螺丝，在第二螺丝锁紧孔212和第四螺丝锁紧孔中打入第二螺丝，衬套2的侧面22位于灭弧罩主体1的内部侧面的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 灭弧罩 保护装置 | ||
【主权项】：
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