[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 201922254289.0 | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN211546662U | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 安欣睿;陈瑶 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,具体公开一种石英舟。该石英舟包括舟体和舟盖,舟体内底面和相对的两个侧面均间隔且成对设置有多个第一卡片板,成对的两个第一卡片板之间形成第一卡槽,舟体在相邻的两个第一卡槽的位置处设置为开口结构,舟体的另外两个侧面为开口结构,舟盖能够盖设于舟体上,舟盖的顶面间隔且成对设置有多个第二卡片板,成对的两个第二卡片板之间形成第二卡槽,舟盖盖设于舟体上后,第一卡槽和与其对应的第二卡槽之间形成方形卡槽,方形卡槽内能够容纳两个硅片,方形卡槽与硅片的边缘过盈配合。在使用时,每个方形卡槽内的两个硅片只有向外的表面会接触到反应气体,从而避免硅片在镀膜工序中发生绕镀的现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的