[实用新型]基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统有效
| 申请号： | 201922254704.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211061850U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 崔文荣 | 申请（专利权）人： | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于半导体制冷片的光刻机LED UV光源散热系统，包括导热板、半导体制冷片和散热风扇，导热板与LED UV灯板紧密连接，LED UV灯板上均布有多个灯珠，半导体制冷片冷端与导热板连接，散热风扇设置在导热板上方，且半导体制冷片热端连接靠近散热风扇，本实用新型结构简单，能够降低LED UV芯片衰减，减少曝光均匀，散热结构简单、成本低、效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 半导体 制冷 光刻 led uv 光源 散热 系统 | ||
【主权项】：
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