[实用新型]一种芯片贴膜压平除气装置有效
申请号: | 201922268672.1 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN210778508U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 田光明;王波;王小波 | 申请(专利权)人: | 无锡科瑞泰半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/48 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片贴膜压平除气装置,所述工作台的上端连接有底板,所述工作台的上端两侧分别设有侧板,两组所述侧板之间连接有顶板,所述顶板的内部一侧安装有第一液压缸,所述顶板的内部一侧设有滑槽,所述滑槽中滑接有滑板,所述第一液压缸的输出端贯穿至滑槽中连接至滑板的一侧,所述滑板的下端连接有第二液压缸;本实用新型碾压辊以及压板在底板上对芯片和膜进行碾压贴合,同时风扇产生的负压风力将芯片和膜之间的空隙中的风被抽离,减少贴合时的气体,导柱在L型橡胶块中上下浮动,滑块上下压动,第二弹簧的下端连接至的上端,使碾压辊产生的压合力更好,更加服帖膜的上端,使得贴合后无气体,适合广泛推广。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 压平 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造