[实用新型]一种芯片贴膜压平除气装置有效

专利信息
申请号: 201922268672.1 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN210778508U 公开(公告)日: 2020-06-16
发明(设计)人: 田光明;王波;王小波 申请(专利权)人: 无锡科瑞泰半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/48
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市新吴区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种芯片贴膜压平除气装置,所述工作台的上端连接有底板,所述工作台的上端两侧分别设有侧板,两组所述侧板之间连接有顶板,所述顶板的内部一侧安装有第一液压缸,所述顶板的内部一侧设有滑槽,所述滑槽中滑接有滑板,所述第一液压缸的输出端贯穿至滑槽中连接至滑板的一侧,所述滑板的下端连接有第二液压缸;本实用新型碾压辊以及压板在底板上对芯片和膜进行碾压贴合,同时风扇产生的负压风力将芯片和膜之间的空隙中的风被抽离,减少贴合时的气体,导柱在L型橡胶块中上下浮动,滑块上下压动,第二弹簧的下端连接至的上端,使碾压辊产生的压合力更好,更加服帖膜的上端,使得贴合后无气体,适合广泛推广。
搜索关键词: 一种 芯片 压平 装置
【主权项】:
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