[实用新型]一种降低直拉单晶硅氧含量提高成晶率的主加热器有效
申请号: | 201922269906.4 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN211689295U | 公开(公告)日: | 2020-10-16 |
发明(设计)人: | 霍志强;武志军;郭谦;郭志荣;王胜利;康学兵;赵志远;韩凯;张文霞;高润飞 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/10;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种降低直拉单晶硅氧含量提高成晶率的主加热器,包括发热体、若干个加热器腿部,所述发热体为多段式曲线结构;所述若干个加热器腿部用于支撑所述发热体。本实用新型涉及的降低直拉单晶硅氧含量提高成晶率的主加热器采用高度一致的发热体,可减少整体主加热器的发热高度,提高主加热器的有效发热面积比,降低氧含量;并使石英坩埚下部与熔硅反应降低,减少氧的产生,从而降低氧含量;发热体的圆弧结构使得该主加热器上表面氧化物易聚集程度减少,改善了炉内环境,从而提高单晶成晶率;且结构简单,维修方便,加工成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 降低 单晶硅 含量 提高 成晶率 加热器 | ||
【主权项】:
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