[实用新型]一种用于清洗PCB板的光刻胶去除装置

摘要

本实用新型所涉及一种用于清洗PCB板的光刻胶去除装置，包括射频电源模块，等离子发生器，因等离子发生器上设置有进气系统；等离子发生器包括原板地电极，硅晶片，光刻胶板，射频电极，等离子气体流；进气系统包括输气管，氧气装置，氩气装置，所述输气管与等离子发生器相互连接。在此结构中，等离子发生器将进气系统被引入气体置于射频电极与原板地电极之间击穿电离后形成冷等离子气体，同时使得活性气体激发审查活性物质，并均匀向下喷出在带有个光刻胶的电路板表面，形成150毫米放电区，使得冷等离子气体中氧气和氩气的产生电离能，与光刻胶发生反应，生成二氧化碳和水，排放外界。从而达到操作方便，温度低，无刮伤无污染，成本低的功能。