[实用新型]一种石墨舟套管和石墨舟

摘要

本实用新型公开一种石墨舟套管，包括具有一沿轴向方向贯通的圆柱形腔体的套管本体；所述套管本体的管壁外周上具有至少一圈槽状结构，所述槽状结构被构造为包括开设于管壁外表面的窄槽以及开设于管壁内的宽槽；所述窄槽与外部连通，所述宽槽与窄槽连通，以在管壁外周形成至少一圈用于遮挡宽槽槽壁处薄膜沉积的悬挂壁结构。进一步，公开一种具有上述石墨舟套管结构的石墨舟。本实用新型通过特殊的槽状结构以及用于遮挡槽壁上薄膜沉积的悬挂壁结构的设计，能尽可能避免沉积在石墨舟套管上的薄膜在相邻舟片之间连通形成介质层，降低薄膜对舟片之间的电场产生影响，稳定镀膜工艺，改善镀膜品质，减少石墨舟清洗次数。